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3D量测|Alicona Tech News

Alicona焦点变化的比较
马路科技|Alicona 3D量测部门

每当需要检查表面质量和微观几何特征时,高分辨率的精确量测解决方案都是必要的。 与替代光学技术相比,Focus-Variation缩小了典型3D坐标量测技术与经典表面计量设备之间的差距。

轮廓投影

图像处理系统是光学量测系统的前身,并且对于理解光学量测技术仍然有意义。轮廓投影仪可放大组件的表面特征,并将图像投影到屏幕上,通过匹配模式,将图像与参考值进行比较。优点是可以在几秒钟内执行量测,尽管几何特征的自动量测仅限于二维应用程序,而最大的缺点是它对物体对准的敏感性,根据其方向可能获得不同的量测结果。

结构光

像投影设备般,以几个亮暗的条纹照亮量测物件,并用摄影机拍摄,物件的形貌扭曲了投影设备的条纹图案,再用照相机记录变形的图案,最后通过图像处理来计算形貌变形。结构光的优点之一是在量测大面积表面时具有很高的量测速度。因此该技术主要用于量测非常大的零件(例如车身),而该技术对于高分辨率次微米深度量测(例如粗糙度量测)的适用性有限。另外,低的景深和对变化的表面特性的高灵敏度大大限制了应用范围。

共焦量测

其特点是横向分辨率高。在检测器内部的焦点处,用一个附加的光圈阻挡来自焦平面上方和下方的光线,使得只有焦平面内的光可穿过检测器,用通过检测最强的信号深度来进行量测。共聚焦系统特别适用于光滑的表面的量测,象是硅结构或半导体几何结构。z高分辨率的优点是对振动的敏感性更高。

焦点变化

不仅可以获取深度的信息,还能收集表面的本色信息,微小和奈米特征的粗糙度可透过轮廓和面积测得。通过Real3D技术可从不同的角度量测复杂的几何形状,然后将其合并为完整的3D数据集,在一个数据中即量测出形状、尺寸、位置和粗糙度,Focus-Variation缩小了3D坐标量测技术与表面轮廓仪之间的距离。不同于其他轮廓投影仪仅量测其轮廓,而是对整个物件的3D表面做量测。而共聚焦系统和干涉仪量测仅能在系统焦点附近调整亮度强度,但是“聚焦变化”则可以在大范围进行高清晰度的量测。 因此聚焦变化技术更能够耐振动。

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