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InfiniteFocus G5

3D显微形貌与粗糙度光学轮廓仪

FEATURES
InfiniteFocus SL
新世代3D微型量测系统

搭配高精度CCD,专门用于微小工件的尺寸及粗糙度检测,满足各领域的检测需求

高测量点密度

多达5亿个测量点可确保进行精细细緻的测量,公差在μm和sub-μm范围内,并且工作距离大。聚焦变化的高测量点密度使操作员能够在高测量体积上获得一致的高横向和垂直分辨率。

陡峭侧面的测量

来自不同方向的光用于对测量产生积极影响。最大侧面角的测量不受物镜数值孔径的限制。根据表面用户的不同,测量坡度最大为87°的表面。

使用Real3D进行全尺寸测量

使用Real3D,用户可以从多个角度测量表面。单个测量将自动合併到完整的3D数据集中。高精度和经过校准的旋转轴和倾斜轴可确保对整个测量对象进行自动,可重複和可追溯的测量。
Specification

InfiniteFocus G5 产品规格

InfiniteFocus G5 设备规格​
量测范围
100 x 100 x 100 mm or 200 x 200 x 100 mm
设备尺寸
approx. 860 x 640 x 730 mm
设备重量
approx. 105 kg to 162kg
工作温度
+18℃ to+28℃
InfiniteFocus G5 镜头规格​
5X
10X
20X
50X
100X
量测面积[mm]
2.82 x 2.82
1.62 x 1.62
0.81 x 0.81
0.32 x 0.32
0.16 x 0.16
点间距离[μm]
1.76
0.88
0.44
0.18
0.09
工作距离[mm]
23.5
17.5
19
11
4.5
最小粗糙度检测[μm]
0.6
0.15
0.075
0.03
0.015
最小R角检测[μm]
10
5
3
2
1
Applications
InfiniteFocus G5 应用

InfiniteFocus是一种高精度,快速且灵活的光学3D表面测量系统,在一个系统中结合了尺寸计量和表面粗糙度测量功能。用户获得可追溯的测量结果,具有很高的可重複性和高达10nm的垂直分辨率。稳固的焦距变化测量原理与隔振硬件相结合,可以测量大型和重型组件的形状和粗糙度。InfiniteFocus的所有轴均配备了高度精确的编码器,可确保精确的平台移动。

借助自动化界面,InfiniteFocus还可以应用于生产中的全自动测量。

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