| 量测范围 |
50 x 50 x 155 mm |
100 x 100 x 100 mm
200 x 200 x 100 mm |
| 设备尺寸 |
195 x 340 x 485 mm |
860 x 640 x 730 mm |
| 量设备重 |
15kg |
105kg－162kg |
| 检测精度 |
2µm |
1µm |
| 自动化 |
4轴 |
5轴（倾斜轴） |
| 镜头组数 |
4组 |
5组 |
镜
头
规
格 |
倍数 |
5x／10x／20x／50x |
5x／10x／20x／50x／100x |
| 量测面积[mm] |
2.82x2.82－0.32x0.32mm² |
2.82x2.82－0.16x0.16mm² |
| 点间距离[µm] |
1.76－0.18µm |
1.76－0.09µm |
| 工作距离[mm] |
23.5－11mm |
23.5－4.5mm |
| 最小粗糙度检测[µm] |
0.6－0.03µm |
0.6－0.015µm |
| 最小R角检测[µm] |
10－2µm |
10－1µm |
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